單一鏡頭白光干涉儀
WLImob
- WLImob 是一輕巧白光干涉儀
- 適用於微奈米結構的表面非接觸式量測，尤其是透明的表面材料
- 干涉物鏡可搭配 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100 X.
- Z軸量測範圍:100, 250, 400um 可選，分辨率可達到0.1nm
- WLImob可用作 OEM 組件，可與晶片階高,粗度,瑕疵自動化量測機台一起使用
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冠德儀器有限公司
PRODUCT DESCRIPTION
產品介紹
1.可安裝在自動化量測系統. 例:晶圓粗度/厚度/暇疵檢查機上.
2.光源:集成綠藍高性能 LED (505nm)
3.CCD解析: 標準: 780x582 pixels, 48fps (Wire Fire)
選購:1280x1024 pixels,169 fps (USB3)
4.Z軸量測範圍:100, 250, 400um 可選
5.X-Y量測面積:依鏡頭而定
6.量測模式：VSI, EPSI
7.Z軸量測精度: 依安裝干涉物鏡及量測範圍而定
例：50X物鏡: 0.1 nm
8.主機尺寸：95x65x230mm(WxDxH) 含鏡頭
9. Inspector軟體功能:微結構輪廓,表面粗糙度,鍍層厚度
2D及3D各項尺寸及圖像顯示,報表輸出功能.
10. SDK開發軟體
11.選購: stitching ,自動化量測功能, X-Y-Z 電動平台, 防震平台
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