- 可將建築物振動及其他干擾隔離開,適合裝於白光干涉儀或高倍率共軛焦顯微鏡量測
- 同時在所有六個自由度上提供主動補償
- 隔離效果從 0.6 Hz 開始,達到最大值
- 在 10 Hz 時性能為 -40 dB,其中 99.0% 的振動被隔離
- 除了極短的穩定時間之外,沒有低頻共振是一個主要優勢
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1.六自由度主動隔振
2.無自然低頻共振—在低頻範圍內具有出色的隔振特性
3.主動隔振從 0.6 Hz 開始(被動隔振 > 200 Hz)
4.穩定時間僅為 0.3 s
5.自動負載調整和運輸鎖
6.由於固有剛度,位置穩定性高
7.無需壓縮空氣 - 僅電源
8.真正的主動隔振 - 立即產生反作用力來補償振動
9.有不同的尺寸及荷載大小機型