白光干涉儀＋共軛焦顯微鏡 2合一
KFM-xpert
- 微觀表面非接觸式量測光學輪廓儀
- 最新光學設計白光干涉儀及共軛焦顯微鏡2合一使用
- 配備6個鏡頭座,可安裝於任何表面瑕疵/粗度/3D輪廓自動化檢查機台
- 可搭配不同高解析彩色黑白攝像機，獲取最高品質圖像，輪廓，粗糙度等
- 可擴充為1-4層，膜厚量測
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冠德儀器有限公司
PRODUCT DESCRIPTION
產品介紹
1.可安裝在自動化量測系統.例:晶圓粗度/厚度/暇疵檢查機上
2.鏡頭座:可裝6個鏡頭(選購:電動鼻輪)
2.光源:高亮度光電管505nm
3.CCD解析: 標準: 780x582 pixels,48fps ( 黑白）
選購: 2048 x 2048 pixel ,169 fps (USB3)
4.Z軸量測範圍: 50mm
5.X-Y量測面積:依鏡頭而定
6.Z軸量測精度:
依安裝共軛焦鏡頭而定
10X 物鏡:10.0nm, 20X物鏡: 3.0nm
50X物鏡: 1.0 nm, 100X物鏡: 1.0nm
依安裝干涉物鏡而定
5X物鏡: 1nm ,10X 物鏡:1nm, 20X物鏡:0.1nm
50X物鏡: 0.1nm, 100X物鏡:0.1nm
7.白光干涉量測模式：VSI, EPSI
8. Inspector軟體功能:微結構輪廓,表面粗糙度,鍍層厚度,2D及3D各項尺寸及圖像顯示,報表輸出功能
9. SDK軟體
10. 選項: stitching ,自動化量測功能, X-Y 電動平台, 防震平台
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