X-Y 電動平台 
Hyperion
- Hyperion 系統是非接觸式 2D 和 3D 形貌精密測量的電動控制平台
- 所有 OPM 傳感器都可以安裝到該系統中，可量測高達 1.5 mm的垂直結構，分辨率高達 0.1 nm
- 適用不同的傳感器和可擴展的軟件設計，適用於各種測量任務
- Hyperion 系統由兩個直流電機控制的精密線性平台、一台 PC 以及測量和評估軟件 Inspector 組成
- 系統的主要特點：體積小、重量輕、精度高
- 選購軟件：自動定位量測及各種數據自動分析, 自動貼圖量測分析
- 選購硬體：offset 定位鏡頭, 主動式防震台, 氣壓阻尼式防震台
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