自動聚焦感測器
AF16 (autofocus sensor)
- AF16 自動對焦傳感器適用於樣品表面的非接觸式掃描測量
- 高分辨率,準確性,動態性和快量測速度結合在一個設備中
- 可測平面度、翹曲度、共面度、階高、粗糙度、面積及磨耗體積
- 應用領域在高靈敏度、柔軟或液體介質上進行測量
- 材料研究、摩擦學
- 機械工程：形狀、波紋度、粗糙度
- IC封裝：翹曲、共面
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冠德儀器有限公司
PRODUCT DESCRIPTION
產品介紹
1.測量原理:通過散光進行動態聚焦。散光法沒有首選方向，因此可以在任何方向測量樣品表面
2.光源: 波長為 780 nm 的半導體激光器
3.測量範圍: 1.5mm
4.解析度: 10 nm
5.再現性: 標準偏差 <= 10 nm，以 150 µm 為步長進行 50 次測量
6.工作距離 : 2mm (AF16-2) 或 5.8mm (AF16-6)
7.光點尺寸：1.9 µm 衍射極限
8.表面坡度: 90°+/- 25°，
9.採樣率: 16 Hz - 10 kHz，無論試片表面光潔度如何
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