- 是一款小型高精度3D 測量系統,用於非接觸式掃描記錄形貌和輪廓
- 適用OPM各種點的光學傳感器用於記錄測量值
- Z軸測量高達 1.0 mm 的結構尺寸和高達 7.5 nm 的分辨率
- 直徑為 8 mm的彩色相機作觀查及位移補正
- Inspector 軟件可以對記錄的測量數據進行廣泛分析
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1.可安裝各種光學傳感器做掃描測量任務
2.帶照明的集成彩色攝像頭
3.集成操縱桿,便於樣品定位
4.行程範圍: 60x60mm
5.最大樣品高度: 75mm
6.記錄數據的廣泛分析選項
7.機台尺寸:3l0 x 405 x 360mm, 重量 25kg