1. 可安裝於Nikon,Leica等金相/工具顯微鏡
2. 光源:高亮度光電管505nm
3. CCD解析: 標準: 780x582 pixels,48fps,
選購:1280x1024 pixels, 169fps
4. Z軸量測範圍: 400um
5. X-Y量測面積:依鏡頭而定
6. Z軸量測精度: 依安裝共軛焦鏡頭而定. 例50X物鏡: 1.0 nm
7. Inspector軟體功能:微結構輪廓,表面粗糙度
8. 2D及3D各項尺寸及圖像顯示,報表輸出功能.
9. SDK軟體
10. 選項: stitching ,自動化量測功能, X-Y-Z 電動平台, 防震平台