KFM 單一鏡頭共軛焦顯微鏡
KFM
- 微觀表面非接觸式量測光學輪廓儀
- KFM 共軛焦顯微鏡使用最新旋轉 Nipkow 圓盤進行區域共焦量測
- 配備單一鏡頭,可安裝於任何表面瑕疵/粗度/3D輪廓自動化檢查機台
- 使用一種特殊的真實峰值檢測算法，可以從圖像數據中確定輪廓高度和全焦3D表面圖像
- 可搭配不同高解析彩色黑白攝像機，獲取最高品質圖像，輪廓，粗糙度等
- 可擴充為1-4層， 膜厚量測
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冠德儀器有限公司
PRODUCT DESCRIPTION
產品介紹
1. 可安裝於自動化量測系統.例:晶圓粗度/厚度/暇疵檢查機上
2. 光源:高亮度光電管505nm
3. CCD解析: 標準: 780x582 pixels,48fps, 選購:1280x1024 pixels, 169fps
4. Z軸量測範圍: 400um
5. X-Y量測面積:依鏡頭而定
6. Z軸量測精度: 依安裝鏡頭而定
10X 物鏡:10.0nm, 20X物鏡: 3.0nm
50X物鏡: 1.0 nm, 100X物鏡: 1.0nm
7. Inspector軟體功能:微結構輪廓,表面粗糙度,鍍層厚度
8. 2D及3D各項尺寸及圖像顯示,報表輸出功能
9. SDK軟體
10. 選項: stitching ,自動化量測功能, X-Y-Z 電動平台, 防震平台
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