冠德儀器有限公司

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半導體 FPD 檢測顯微鏡

MX8R

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  • 光學系統具有明視野,暗視野,簡易偏光,DIC等觀察功能
  • 採用8吋大平台設計,可適用於相應尺寸的晶圓,FPD檢測,電路封裝,電路基板,材料,精密模具檢測
  • 安全穩重的機架結構設計,低重心,高剛性,高穩定性金屬機架,確保了系統的抗震能力與成像穩定性
  • 高性能物鏡轉換器:採用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適.重複定位精確,物鏡轉換後的同心度也得到較好的控制
  • 採用高性能微分干涉組件,可將明視野觀察下無法檢測的細微高低差轉化為高對比的明暗差並以立體浮雕形式表現出來.
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PRODUCT DESCRIPTION

產品介紹

  

1.光學系統:無限遠色差光學系統

2.觀察方式: 明視野,暗視野,簡易偏光,DIC

3.目鏡: 高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調,可附單刻度十字分劃板

          高眼點大視野平場目鏡PL10X/26.5mm,視度可調,可附單刻度十字分劃板

4.物鏡: 明暗視野半復消金相物鏡(5X,10X,20X,50X ,100X)

          無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡(5X,10X,20X,50X ,100X)

5.轉換器:明暗視野五孔轉換器,附DIC插槽

            明暗視野、明視野六孔轉換器,附DIC槽

            明視野七孔轉換器,附DIC插槽

6.調焦機構:反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構.粗調行程33mm,微調精度0.001mm ;帶有防止下滑的調整鬆緊裝置和.隨機上限位元裝置;  

  內建100-240V寬電壓系統,帶光亮度設定暗扭與復位按扭

7.明暗視野反射照明器,帶可變孔徑光闌,視野光闌,中心均可調;帶明暗視野照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

8.載物台:8吋三層機械移動平台,低手位X、Y方向同軸調整;平檯面積525mmx330mm,移動範圍: 210mmx210mm 

 

 

10.反射照明系統: 明暗場反射

 

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